低温等离子废气净化设备在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击废气分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。

废气先经均流板过滤棉进入设备时，由设备高压稳定高频放电，瞬间产生1.5万伏特至2万伏特高压，击穿废气。此阶段中，长链、多链废气分子由于键能较弱，约束力较小。很容易被击穿化学键破裂，从而变成小分子化合物，此为一阶段净化。其次，随废气进入设备的水分子、氧分子被高压击穿断裂，生成强氧化基团羟基、臭氧分子等。这些强氧化基团与废气分子充分接触氧化，加快反应进程。整个反应干净，能量利用率高，净化效率非常高。

低温等离子废气净化设备优点：

1、介质阻挡放电产生的低温等离子体中，电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用。

2、反应快，不受气速限制。

3、采用防腐蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了设备腐蚀问题。

4、只需用电，操作简单，无需派专职人员看守，基本不占用人工费。

5、设备启动、停止十分迅速，随用随开，不受气温的影响。

6、气阻小，工艺成熟。

等离子废气净化设备电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到污染物分子中去，那些获得能量的污染物分子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团。然后这些活性基团与氧气、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。

另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。