工业废气催化燃烧装置有机废气先通过干式过滤，将废气中颗粒状污染物截留去除，然后进入吸附床进行吸附，利用蜂窝状活性炭将有机溶剂吸附在活性炭表面，处理后的洁净气体经过风机、烟囱高空排放。活性炭经过吸附运行一段时间后达到饱和，启动系统的脱附催化燃烧过程，通过热气流将原来已经吸附在活性炭表面的有机溶剂脱附出来，并经过催化燃烧反应转化成二氧化碳和水蒸气等无害物质，并放出热量，反应产生的热量经过热交换部分回用到脱附热气流中，当脱附达到一定程度时释放热，使脱附加热达到平衡，系统在不借助外加热的情况下完成脱附再生过程。

在催化燃烧过程中,催化剂的作用是降低反应的活化能,同时使反应物分子富集于催化剂表面,以进步反应速率。借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度前提下发生无焰燃烧,并氧化分解为CO2 和H2O,同时放出大量热量。

工业废气催化燃烧装置工艺流程可分为3种：

1、预热式。

预热式是催化燃烧的最基本的流程形式，其基本原理见图1。有机废气温度在100℃以下、浓度也较低时，热量不能自给，因此在进入反应器前需要在预热室加热升温。通常采用煤气或电加热将废气升温至催化反应所需的起燃温度；燃烧净化后的气体在热交换器内与未处理的废气进行热交换，以回收部门热量。

2、自身热平衡式。

有机废气温度高且有机物含量较高，通常只需要在催化燃烧反应器中设置电加热器供起燃时使用，通过热交换器回收部门净化气体所产生的热量，正常操纵下就能够维持热平衡，不需要增补热量，其流程见图2. 

3、吸附-催化燃烧。

当有机废气的流量大、浓度低、温度低、采用催化燃烧需消耗大量的燃料时，可先采用吸附手段将有机废气吸附于吸附剂上并进行浓缩，然后通过热空气吹扫，使有机废气脱附成为高浓度有机废气（可浓缩10倍以上）后再进行催化燃烧。